Project information
Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu
- Project Identification
- TA02010784 (kod CEP: TA02010784)
- Project Period
- 1/2012 - 12/2015
- Investor / Pogramme / Project type
-
Technology Agency of the Czech Republic
- ALFA
- MU Faculty or unit
-
Faculty of Science
- prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
- Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
- Mgr. David Nečas, Ph.D.
- Cooperating Organization
-
Brno University of Technology
- Responsible person Doc. RNDr. Miloslav Ohlídal, CSc.
- Responsible person Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.
- Responsible person RNDr. Jiří Jankuj, CSc.
Vyvinutí nových metod návrhu systémů tenkých vrstev vyráběných v optickém průmyslu zahrnujících defekty vrstev a originálních metod charakterizace těchto systémů umožňujících zdokonalení kontroly kvality. Technologické změny depozice vrstevnatých systémů vyráběných v optickém průmyslu, jako jsou zrcadla s vysokou odrazivostí, antireflexní pokrytí, děliče světla a polarizátory, minimalizující jejich nedokonalosti především v ultrafialové oblasti spektra a umožňující nové progresivní aplikace.
Publications
Total number of publications: 27
2017
-
Application of imaging spectroscopic reflectometry forcharacterization of gold reduction from organometallic compound bymeans of plasma jet technology
Applied Surface Science, year: 2017, volume: 396, edition: FEB, DOI
-
Determination of local thickness values of non-uniform thin films by imaging spectroscopic reflectometer with enhanced spatial resolution
Measurement Science and Technology, year: 2017, volume: 28, edition: 2, DOI
-
Ellipsometric and reflectometric characterization of thin films exhibiting thickness non-uniformity and boundary roughness
Applied Surface Science, year: 2017, volume: 421, edition: November, DOI
-
Temperature-dependent dispersion model of float zone crystalline silicon
Applied Surface Science, year: 2017, volume: 421, edition: November, DOI
-
Universal dispersion model for characterization of optical thin films over wide spectral range: Application to magnesium fluoride
Applied Surface Science, year: 2017, volume: 421, edition: November, DOI
2016
-
Optical characterization of SiO2 thin films using universal dispersion model over wide spectral range
Conference on Optical Micro- and Nanometrology VI, year: 2016
-
Simultaneous determination of optical constants, local thickness and roughness of ZnSe thin films by imaging spectroscopic reflectometry
Journal of Optics, year: 2016, volume: 18, edition: 1, DOI
2015
-
Dělič světla pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm a dopadový úhel 45°±6°
Year: 2015
-
Dispersion model for optical thin films applicable in wide spectral range
Conference on Optical Systems Design - Optical Fabrication, Testing, and Metrology V, year: 2015
-
Polarizační kostka pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm
Year: 2015