Project information
Struktury SOI pro pokročilé polovodičové aplikace
(ONSEMI)
- Project Identification
- TA01010078
- Project Period
- 1/2011 - 12/2013
- Investor / Pogramme / Project type
-
Technology Agency of the Czech Republic
- ALFA
- MU Faculty or unit
- Faculty of Science
- Cooperating Organization
-
ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o.
Práce na projektu budou vedeny ve dvou navzájem provázaných liniích:
(i)Aplikovaný výzkum progresivních polovodičových materiálů a struktur a experimentální vývoj technologií jejich výroby se zaměřením na pokročilou technologii výroby Silicon-On-Insulator (SOI) a na bonding křemíkových desek pro SOI.
(2) Aplikovaný výzkum a vývoj nových metod charakterizace objemových i povrchových vlastností polovodičových materiálů a struktur, zejména použití infračervených kamer pro měření kvality bondingu, komplexní metrologie struktury SOI, měření doby života minoritních nositelů náboje.
Publications
Total number of publications: 3
2014
-
Zařízení pro měření rekombinačních procesů v epitaxních vrstvách křemíku
Year: 2014
-
Zařízení pro měření tloušťky polovodičových vrstevnatých struktur SOI
Year: 2014
2013
-
Lattice constants and optical response of pseudomorph Si-rich SiGe:B
Applied Physics Letters, year: 2013, volume: 103, edition: 20, DOI