Project information
Termofyzikální charakterizace tenkých vrstev
- Project Identification
- GA23-06263S
- Project Period
- 1/2023 - 12/2025
- Investor / Pogramme / Project type
-
Czech Science Foundation
- Standard Projects
- MU Faculty or unit
- Faculty of Science
- Cooperating Organization
-
Czech Meteorological Institute
- Responsible person Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.
Projekt se zaměřuje na vývoj metod kvantitativní analýzy termofyzikálních vlastností tenkých vrstev a jejich systémů pomocí metod rastrovací sondové mikroskopie (SPM). To zahrnuje vývoj vhodných referenčních vzorků, vývoj nástrojů pro kombinovaná termální a elektrická měření v SPM a vývoj metodiky pro zajištění metrologické návaznosti, jak na specializovaných, tak na komerčně dostupných mikroskopech.
Publications
Total number of publications: 1
2024
-
Development of a-C:H coatings doped with trimethylsilyl acetate prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition
Diamond and Related Materials, year: 2024, volume: 147, edition: August 2024, DOI