Project information
Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev

Investor logo
Project Identification
GAP205/12/0407
Project Period
1/2012 - 12/2016
Investor / Pogramme / Project type
Czech Science Foundation
MU Faculty or unit
Faculty of Science

Tento projekt je zaměřen na studium chování hybridního PVD-PECVD procesu, který bude využit pro přípravu nanostrukturovaných kompozitních materiálů typu n-MC/a-C(:H). Hlavním cílem tohoto projektu je provést rozsáhlou diagnostiku depozičního plazmatu a porozumět souvislostem mezi parametry depozičního procesu, vlastnostmi depozičního plazmatu a vlastnostmi deponovaných vrstev.

Publications

Total number of publications: 60


Previous 1 2 3 4 5 6 Next

You are running an old browser version. We recommend updating your browser to its latest version.