Informace o projektu
Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
- Kód projektu
- GAP205/12/0407
- Období řešení
- 1/2012 - 12/2016
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
Tento projekt je zaměřen na studium chování hybridního PVD-PECVD procesu, který bude využit pro přípravu nanostrukturovaných kompozitních materiálů typu n-MC/a-C(:H). Hlavním cílem tohoto projektu je provést rozsáhlou diagnostiku depozičního plazmatu a porozumět souvislostem mezi parametry depozičního procesu, vlastnostmi depozičního plazmatu a vlastnostmi deponovaných vrstev.
Publikace
Počet publikací: 60
2012
-
Hybrid PVD-PECVD Process and Its Application for Carbon Ritch Nanocomposite Thin Film Deposition
Vrstvy a povlaky 2010: Zborník prednášok, rok: 2012
-
Hybrid PVD-PECVD Process for Synthesis of Me/C Nanocomposite Coatings
Rok: 2012, druh: Konferenční abstrakty
-
Influence of hydrogen on behaviour of reactive magnetron sputtering
Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass: Book of Extended Abstracts, rok: 2012
-
Magnetron sputtering at CEPLANT project
Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass: Book of Extended Abstracts, rok: 2012
-
Modelling of Reactive Magnetron Sputtering with Focus on Changes in Target Utilization
Chemické listy, rok: 2012, ročník: 106, vydání: S
-
Monitoring and control of RF driven PVD, PECVD and etching plasmas using Fourier components of discharge voltages
Rok: 2012, druh: Konferenční abstrakty
-
Optimization of nanocomposite n-TiC/a-C:H coatings preparation and TEM study of coatings structure after deformation
Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass: Book of Extended Abstracts, rok: 2012
-
Properties of nc-TiC/a-C:H films prepared by PVD-PECVD process at low and high ion bombardment
Rok: 2012, druh: Konferenční abstrakty
-
Study of hybrid PVD-PECVD process and its application for metal/carbon film deposition
Rok: 2012, druh: Konferenční abstrakty
-
Study of the Indentation Response of Nanocomposite n-TiC/a-C:H Coatings
Chemické listy, rok: 2012, ročník: 106, vydání: S