Informace o projektu
Nukleace a růst kyslíkových precipiátů v křemíku
- Kód projektu
- GA202/09/1013
- Období řešení
- 1/2009 - 12/2011
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D.
- doc. RNDr. Zdeněk Bochníček, Dr.
- doc. Mgr. Ondřej Caha, Ph.D.
- Alan Kuběna
- doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc.
- doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
- Klíčová slova
- nukleace, precipitace, křemík
- Spolupracující organizace
-
Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba RNDr. Milan Svoboda, CSc.
Publikace
Počet publikací: 18
2012
-
Precipitation in silicon wafers after high temperature preanneal studied by X-ray diffraction methods
Physica B condensed matter, rok: 2012, ročník: 407, vydání: 15, DOI
-
Studies of influence of high temperature preannealing on oxygen precipitation in CZ Si wafers
Journal of crystal growth, rok: 2012, ročník: 348, vydání: 1, DOI
2011
-
Homogeneous and heterogeneous nucleation of oxygen in Si-CZ
Solid State Phenomena, rok: 2011, ročník: Neuveden, vydání: 178-179
-
Oxygen precipitation studied by x-ray diffraction techniques
Solid State Phenomena, rok: 2011, ročník: Neuveden, vydání: 178-179
-
Study of oxide precipitates in silicon using X-ray diffraction techniques
physica status solidi (a), Applied research, rok: 2011, ročník: 208, vydání: 11, DOI
-
X-RAY LAUE DIFFRACTION STUDY OF OXYGEN PRECIPITATES IN CZOCHRALSKI SILICON
Materials Structure in Chemistry, Biology, Physics and Technology, rok: 2011, ročník: 18, vydání: 3
2010
-
Comparative study of multilayers used in monochromators for synchrotron-based coherent hard X-ray imaging
Journal of Synchrotron Radiation, rok: 2010, ročník: 17, vydání: 4
-
Defect Engineering in Czochralski-grown Silicon Studied by TEM
Rok: 2010, druh: Konferenční abstrakty
-
Oxygen Precipitation in CZ Si Wafers after High Temperature Pre-annealing
Rok: 2010, druh: Konferenční abstrakty
-
X-ray scattering study of oxide precipitates in Cz-Si
Rok: 2010, druh: Konferenční abstrakty