Informace o projektu
ACDRC-2026-WP2-02
- Kód projektu
- ACDRC-2026-WP2-02
- Období řešení
- 11/2026 - 10/2027
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Masarykova univerzita
- Interní projekty RMU
- ACDRC
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
Přístroje pro modernizaci laboratoře polovodičů - čistých prostor na Ústavu fyziky kondenzovaných látek
1) Sytící pec
2) Modul radiofrekvenčního leptání desek k naprašovacímu zařízení MRC-603 3) Optický bezmaskový litograf