Mgr. Peter Klein, Ph.D.

výzkumný pracovník II – Depozice tenkých vrstev a nanostruktur

korespondenční adresa:
Kotlářská 267/2, 611 37 Brno

e‑mail:

sociální a akademické sítě:

Základní údaje

Druh

Počet publikací: 91

2012

Monitoring and control of RF driven PVD, PECVD and etching plasmas using Fourier components of discharge voltages

VAŠINA Petr DVOŘÁK Pavel ŽEMLIČKA Radek KLEIN Peter BURŠÍKOVÁ Vilma

Konferenční abstrakty

Rok: 2012, druh: Konferenční abstrakty